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    等離子去膠機

    更新時間:2024-01-05

    訪問量:123

    廠商性質:代理商

    生產地址:中國

    簡要描述:
    【等離子去膠機】是專為處理晶圓、硅片去膠,清洗,活化而設計的一種真空等離子系統, 其廣泛應用于科研院校,企業研發單位和小批量生產打樣。
    品牌其他品牌

    一、【等離子去膠機】功能特點:

    (01)高品質不銹鋼結構和固定裝置;

    (02)不銹鋼托盤設計,可調節托盤間距;

    (03)8K 鏡面不銹鋼腔體;

    (04)13.56MHz 數字高頻等離子發生器;

    (05)直觀的觸摸屏,過程參數實時監控;

    (06)方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求;

    (07)支持各種工藝氣體,如:氬氣,氧,氫,氦和氟化氣體;

    (08)兩個標準的浮子針閥流量控制器,用戶可以根據需要來調節;

    二、【等離子去膠機】技術參數:

    (01)射頻頻率:13.56 MHz

    (02)射頻功率:0-300W 可調

    (03)腔體材質:進口 316 鏡面不銹鋼

    (04)腔體尺寸:240(L)*280(D)*200(H)mm

    (05)腔體有效處理面積:230(L)× 205(D)mm

    (06)處理產品尺寸:可處理 8 寸晶圓,向下兼容 6 寸、4 寸晶圓

    (07)放電電極:導電鋁合金專用電極

    (08)放電形式:CCP & RIE 離子反應放電模式

    (09)電極間距:可調整電極之間的距離,調整等離子體強度和密度,大大提升處理能力和效率

    (10)氣體流量控制器:浮子針閥流量控制器, 0-500ml/min

    (11)氣路數量:2 路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等 (如需接入腐蝕性氣體,需提前告知)

    (12)真空計:有真空計

    (13)系統控制:4.3寸觸摸屏PLC控制

    (14)電源供應:220V

    (15)氣管接口:φ8mm

    (16)氣體純度:99.99%

    (17)氣體壓力:0.3~0.6Mpa

    (18)排氣口:KF25

    (19)整機功率:1000W

    (20)外形尺寸:600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)

    (21)重量:80kg

    晶圓清洗用-等離子清洗機.jpg



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