• 產品中心您的位置:網站首頁 > 產品中心 > 勻膠機 > 高精度勻膠機 > Laurell WS-650MZ-8NPPBLaurell勻膠旋涂機

    Laurell勻膠旋涂機

    更新時間:2024-01-02

    訪問量:856

    廠商性質:代理商

    生產地址:美國

    簡要描述:
    Laurell勻膠旋涂機WS-650MZ-8NPPB結構緊湊,功能強大。此 650 系列旋涂儀可容納直徑達200mm 的晶圓和 7“ × 7" (178毫米×178毫米)方形基板, 轉速范圍100~12,000.RPM (基于ø100mm硅片)。
    品牌其他品牌

    一、Laurell勻膠旋涂機 650系列 產品特點:

    (1)過程控制器:650 系列過程控制器利用強大的微處理器,并使用其隨附的PC軟件,使得在設置和使用時可以非常靈活的進行調整。該控制器允許操作員在流程執行期間實時交互,包括暫停時間、 停止并從這一點繼續。

    (2)系統外觀材質:該系統的外殼通常采用的是NPP材質,這種材料能夠抵抗溶劑和強酸、強堿?!具x配】特殊的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF housing 外殼可用(常用于高溫化學和亞微米顆粒研究)。

    (3)Laurell自有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設備免受化學污染。該密封件為工藝腔室提供氮氣吹掃,并且在現場測試期間已被證明在亞微米水平上是無顆粒的。

    (4)安全設計:與操作員電氣隔離、門聯鎖以及組件的 UL 和 CSA 認證確保了多年的安全。當真空開關未接合且蓋子打開時,聯鎖可防止旋轉,所有Laurell系統均符合CE和RoHS標準。

    (5)過程保障:所有 Laurell 過程控制器的“過程保護"功能可確保同一過程不會無意中在同一基材上運行??梢暂p松繞過此功能以再次運行相同的進程,而無需打開系統,或者可以在over(循環)上運行序列。


    二、Laurell勻膠旋涂機 650系列 廠務條件:

    (1)氣源: 需要 60~70 PSIG (4–5 bar) 的氮氣/CDA 對迷宮式電機密封件加壓。(這種氣體還會吹掃工藝腔室。氣體消耗量非常低,每小時 3 立方英尺。)

    (2)真空:建議在 25 英寸汞柱下使用 28–635 英寸(~711–4 毫米)汞柱的真空,流量為 5.0 SCFM(127.0 立方米/分鐘)。

    (3)電源:95~240VAC, 47/63HZ, 約300 W;


    三、產品應用:

    Laurell WS-650 系列通常用于溶劑、堿或 酸基加工:涂層、蝕刻、顯影、漂洗干燥和 清洗。雖然支持所有這些過程,但由于已知材料,Laurell 建議僅一次性使用 沖突。例如,光刻膠和顯影劑(交叉污染), 和SC-1和SC-2(HCl + NH4OH), 產生 NH4Cl, 危險的吸入風險。

    638167188448618286733.jpg

    *Laurell涂膠顯影系列產品型號簡介:


    型號

    控制器

    大基板尺寸

    大轉速

    650系列 勻膠旋涂儀

    WS-650-23B

    650 系列

    ?150毫米(5英寸×5英寸)

    12000rpm

    WS-650-8B

    650 系列

    ?200毫米(7英寸×7英寸)

    12000rpm

    WS-650-15B

    650 系列

    ?300毫米(9英寸×9英寸)

    12000rpm

    EDC™系列 勻膠顯影機

    EDC-650-23B

    650 系列

    ?150毫米(5英寸×5英寸)

    12000rpm

    EDC-650-8B

    650 系列

    ?200毫米(7英寸×7英寸)

    12000rpm

    EDC-650-15B

    650 系列

    ?300毫米(9英寸×9英寸)

    12000rpm


    以上,如果您有任何想法,歡迎隨時聯系我們!













    留言框

    • 產品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯系電話:

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7




    国产日韩一区二区三区在线观看-男人添女人30分钟免费-精品国产成人综合-好爽毛片一区二区三区色欲