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    URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機

    更新時間:2024-01-02

    訪問量:1438

    廠商性質:代理商

    生產地址:中國

    簡要描述:
    URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機

    (1)曝光面積: 160mm ×160mm ;

    (2)曝光波長: 365nm ;

    (3)分辨力:≤ 1μm;

    (4)對準精度: ±1 μm;
    品牌其他品牌

    一、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機 技術參數:

    (1)曝光面積: 160mm ×160mm ;

    (2)曝光波長: 365nm ;

    (3)分辨力:≤ 1μm;

    (4)對準精度: ±1 μm;

    (5)對準系統掃描臺運動范圍至少滿足: Y: 10 mm ;

    (6)對準系統左右光管可單獨 X Y Z 向運動, X向:± 5mm,Y 向:± 5mm,Z 向:± 5mm ;

    (7)掩模尺寸 :7寸(向下兼容) ;

    (8)樣片尺寸: 6寸(向下兼容) ;

    (9)適應樣品厚度: 0. 5-3mm ,最大可支持 20mm 的樣片(定制) ;

    (10)曝光方式:定時(倒計時方式);

    (11)照明不均勻性:< 3 %;

    (12)雙視場 CCD 對準顯微鏡: 變倍鏡頭( 1-5倍)+顯微物鏡

    (13)掩模相對于樣片運動行程至少滿足: X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6o ;

    (14)曝光能量密度: >35 mW/cm2,

    (15)對準位 和曝光雙工作,伺服電機 自動切換;

    (16)調平接觸壓力通過傳感器保證重復性;

    (17)可數字設定對準間隙和曝光;

    (18)觸摸屏操作;

    (19)外形尺寸:約 1400mm(長) x 900mm(寬) x 1500mm(高)


    二、URE-2000/30AL紫外掩膜式光刻機 設備配置:

    設備主要由均勻照明曝光系統、對準工件臺系統、電控系統、氣動控制系統及輔助配套設備構成。

    (1)曝光頭系統

    ● 進口紫外 LED 光源

    ● LED 光源整形模塊

    ● XYZ 光源位置 調節臺

    ● 冷卻風扇

    ● 光學系統:(含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組、場鏡組、反射)

    (2)對準工件臺

    ●工位切換臺(電機);

    ●掩模樣片整體運動臺;

    ●掩模樣片相對運動臺;

    ●轉動臺;

    ●樣片調平機構,三點自動完成;

    ●樣片調焦機構,電自動;

    ●基片抽拉式上下機構;

    ●掩模尺寸 3寸, 4寸, 5寸,7寸;

    ●樣片尺寸: 2寸, 3寸, 4寸,6寸;

    (3)對準系統

    ●光源、 電源

    ●CCD 對準系統, 22 寸液晶顯示器

    ●左右光管可單獨 X Y Z 向運動臺;

    (4)電控系統

    ●光源 電源

    ●控制系統

    ●控制柜桌

    (5)氣動系統

    ●氣缸、電磁閥減壓動開關等

    ●電磁閥驅動

    ●氣動儀表

    (6)其它附件

    ●真空泵一臺(無油)

    ●空壓機一臺(靜音泵)

    ●管道

    (7)技術資料

    ●使用維修說明書

    ●合格證

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